碳化硅在涂层中的应用

一、半导体制造

碳化硅涂层用于半导体设备核心部件（如石墨基座、导流筒），通过化学气相沉积（CVD）等技术制备，可隔离腐蚀性气体，提升部件耐高温及抗热震性能，确保晶圆外延薄膜纯度。

二、航空航天

碳化硅涂层应用于高温部件，其高熔点（约2700℃）和抗热震性能使其在极端温度变化环境中保持稳定，减少热裂纹风险。

三、能源与工业设备

· ‌金属表面喷涂‌：通过等离子喷涂、HVOF等工艺，碳化硅涂层显著提升金属基材的耐磨性、耐腐蚀性和高温稳定性，适用于燃气轮机叶片、化工管道等场景。

· ‌耐磨涂料‌：添加绿碳化硅微粉的水性涂料可增强耐磨性、导热性和抗紫外线性能，延长设备使用寿命。

四、汽车与机械

碳化硅涂层用于汽车零部件（如刹车片、发动机部件），其高硬度（9.5莫氏硬度）和抗摩擦性能降低磨损率，提升安全性和耐用性。

五、化工与冶金

在高温腐蚀性环境中（如氯化钠溶液、硫酸环境），碳化硅涂层有效抵抗酸碱侵蚀，延长设备使用寿命。